半導体,太陽電池

半導体,太陽電池

半導体や太陽電池の研究開発においては,通常基板上にデバイスが構築されます.デバイスに対して高度な品質と信頼性が要求され,デバイス構造の結晶特性と内部応力に対して詳細なデータを得ることが重要となっています.WITecの装置は,化学特性,物理特性を総合的に分析することができます.

 

WITec装置は幅広い用途に使用でき,様々な観察手法が可能で,観察結果から多くの試料に対する情報を得ることができます.顕微鏡システムとして可能な組み合わせは,共焦点ラマン顕微鏡,原子間力顕微鏡(AFM),近接場光学顕微鏡(SNOM),電子顕微鏡(SEM)があります.共焦点ラマン顕微鏡は化学情報を,AFMは表面形状/構造,硬さ/吸着力などの物理特性を,SNOMは,光学回折限界を超える,高分解能光学像を得ることができます.すべてのWITec装置は,要望に応じて,機能をアップグレードすることができます.

観察例

WITec Raman SEM GaAs

低温成長GaAs(LT GaAs)のRISE(SEMラマン)像. ラマン像は,SEM像に重ね合わせ表示. ラマン像: 黄: 金基板; 赤: GaAs. 50 x 50 µm², 300 x 300 画素 = 90,000 スペクトラム, 積算時間34 ms/スペクトラム

WITec Raman StressMap Si Laser drilled hole Si solar cell

シリコン太陽電池の,レーザードリル加工穴付近の応力マップ

WITec Raman SEM RISE Semiconductor

GaN層のSEMラマン像 上: SEM像; 中央:2次元共焦点ラマンイメージ; 下: 3次元共焦点ラマンイメージ

WITec AFM integrated circuit

ICのAFM表面形状像

WITec Raman AFM wafer

同一ウェハ試料上の別視野でのAFM像(上)とラマン像(下)

Imaging Systems for Semiconductor & Photovoltaics Research

文献資料

参考文献のページへ

お問い合わせ

正確を期すため,全ての項目にご記入をお願いいたします.

個人情報保護:
'WITecは,サイトから得られるどのような個人情報も尊重いたします.入力された個人情報につきましては,御請求の範囲内で適切に使用いたします.