半导体与光伏

半导体与光伏

半导体与光伏的研发需要对材料进行各种复杂的结构化和功能化。随着对半导体器件性能、质量及可靠性的要求越来越高,全面了解器件结构的内部应力与结晶特性变得非常重要。WITec 高分辨率成像技术使您可以对样品的化学与物理特性进行全面的分析,非常适合半导体器件研发探索与失效分析。

WITec 多功能显微镜可结合不同的成像技术,大大提升对样品的分析能力,有助于全面地了解样品信息。 一套显微系统同时集成了多种表征技术,如共聚焦拉曼成像、原子力显微镜 (AFM)、近场显微镜 (SNOM)或扫描电镜 (SEM)。共聚焦拉曼成像可以提供高灵敏的化学信息,AFM 可以探测样品形貌、结构及物理性质(如样品表面硬度、粘附性等),SNOM 则可实现超衍射的光学空间分辨。所有 WITec 仪器配置随时均可升级,从而使系统满足客户测试与扩展的新要求。

应用实例

WITec Raman SEM GaAs

低温生长的砷化镓 (GaAs) 样品的 RISE 图像(拉曼成像-SEM联用)。拉曼图像叠加在 SEM 图像上。彩色编码拉曼图像:黄色:金基底;红色:GaAs。拉曼图像扫描范围:50 x 50 µm²,300 x 300 像素 = 90,000 光谱,单谱积分时间:34 ms。

WITec Raman StressMap Si Laser drilled hole Si solar cell

硅太阳能电池器件上激光钻孔周围硅的应力图像。

WITec Raman SEM RISE Semiconductor

GaN 层结构的拉曼-SEM 图像。顶部:SEM 图像;中间:XY方向的共聚焦拉曼图像;底部:3D共聚焦拉曼图像

WITec AFM integrated circuit

集成电路的AFM 图像

WITec Raman AFM wafer

晶圆上三个不同位置同一样品区的拉曼和 AFM 图像。

文献

  • Application Note GroupIIINitrides and 3DRaman

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  • Application Note Time Resolved PL Measurements

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  • Application Note Solar Cells

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